东元伺服100W200W电机分别在LED固晶机上的应用

  随着IT产业和半导体行业的发展，集成电路市场呈现稳定增长趋势。一方面，固晶机等半导体设备在市场上需求越来越大，另一方面，LED产业的蓬勃发展对LED生产设备的要求也越来越高，与此同时，IPC技术的快速发展为满足以上需求提供了保证。

  LED固晶机系统结构主要包括运动控制模块、气动部分、机器视觉部分和由伺服电机构成的运动执行机构，在这里注明伺服电机是东元伺服电机。

  固晶机上总共采用4套200W东元伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W东元伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分别控制X,Y轴传动机构以及键合臂取晶动作。其中要求高的为控制键合臂的100W东元伺服。

  100W东元伺服电机通过同步带带动连杆快速正反转实现装有吸晶咀的键合臂做逆时针和顺时针方向位移，逆时针到位后吸晶咀吸取晶元然后顺时针固定晶圆。此动作要求：1.快速定位时，马达要平稳，不能抖动，否则吸晶和固晶的位置会不准确；2.客户要求每个动作周期尽量的快，由此对伺服的响应有较高要求。

  通过伺服增益参数的调整，终可以实现键合臂伺服在3msec内完成整定，整个固晶周期为245msec/颗，获得客户的认可。

  固晶机作为一个新兴行业应用的代表，有着较高的技术门槛。东元伺服在固晶机的成功应用，则充分彰显了东元伺服的优良性能。